دانلود مقاله سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS فایل ورد (word)
دانلود مقاله سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS فایل ورد (word) دارای 8 صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد دانلود مقاله سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS فایل ورد (word) کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
این پروژه توسط مرکز مرکز پروژه های دانشجویی آماده و تنظیم شده است
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی دانلود مقاله سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS فایل ورد (word) ،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
بخشی از متن دانلود مقاله سنسورفشار خازنی با ساختار MEMS فایل ورد (word) :
سال انتشار: 1393
محل انتشار: دومین همایش ملی پژوهش های کاربردی در برق، مکانیک و مکاترونیک
تعداد صفحات: 8
نویسنده(ها):
آصفه بهمنی – دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه آزاد یزد رشته الکترونیک
مجید پوراحمدی – عضو هیئت علمی دانشگاه آزاد یزد گروه برق و الکترونیک
چکیده:
اندازه گیری دقیق فاکتورهای فیزیکی مهم از قبیل فشار، فلو، نیرو، تنش، دما، گشتاور و ; در صنعت و زندگی روزمره بشر نقش بسیار حیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرو می باشد، متخصصین در زمینه ها کاربردها و رشته های مختلف مانند فیزیک، شیمی، مکانیک و از همه موثرترمهندسین ابزار دقیق را برآن می دارد تابه طراحی و ساخت سنسورهای جدید الکترومکانیکی پرداخته و یا درصدد بهبود رنج اندازه گیری و یا افزایش دقت و حساسیت سنسورهای موجود بر آیند. در این مقاله طراحی یک سنسور MEMS خازنی برای تشخیص فشار با استفاده از COMSOL MULTIPHYSIC صورت گرفته است. پارامترهای طراحی MEMS با استفاده از تکنیک حل (FEM) (المان محدود) شبیه سازی و مدل شده است. مقدار خمش، تنش، و فرکانس تشدید با استفاده از روش حل Eigen Frequency محاسبه گردیده است. هدف، افزایش رنج اندازه گیری سنسورفشار می باشدکه با افزایش فشار وارده بر سنسور میزان فرکانس تشدید را با افزایش ضخامت دی الکتربک ها افزایش دادیم. فرکانس تشدید 213 مگاهرتز محاسبه شده است.