دانلود مقاله طراحی سیستم انتقال تصویرشش آینه ای لیتوگرافی EUV برای ابعاد نانومتری فایل ورد (word) دارای 4 صفحه می باشد و دارای تنظیمات در microsoft word می باشد و آماده پرینت یا چاپ است
فایل ورد دانلود مقاله طراحی سیستم انتقال تصویرشش آینه ای لیتوگرافی EUV برای ابعاد نانومتری فایل ورد (word) کاملا فرمت بندی و تنظیم شده در استاندارد دانشگاه و مراکز دولتی می باشد.
این پروژه توسط مرکز مرکز پروژه های دانشجویی آماده و تنظیم شده است
توجه : در صورت مشاهده بهم ریختگی احتمالی در متون زیر ،دلیل ان کپی کردن این مطالب از داخل فایل ورد می باشد و در فایل اصلی دانلود مقاله طراحی سیستم انتقال تصویرشش آینه ای لیتوگرافی EUV برای ابعاد نانومتری فایل ورد (word) ،به هیچ وجه بهم ریختگی وجود ندارد
سال انتشار: 1384
محل انتشار: دوازدهمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
تعداد صفحات: 4
چکیده:
لیتوگرافی EUV روشی برای رسیدن به توان جداسازی بسیار بالا است . به علت نبودن ماده شفاف درناحیه EUV در بخش ازسیستم بازتابی استفاده می شود . کنترل ابیراهی ها وبهینه سازی درسیستم انتقال تصویر اهمیت زیادی دارد . دراین سیستم انتقال تصویر شش آینه ای با استفاده ازنرم افزارطراحی اپتیکی OSLO طراحی شده است که نتایج آن بر اساس ارزیابی تصویر بسیار خوب است . در این طراحی . برای بهینه سازی هرچه بیشتر از سطوح غیرکروی استفاده شده است .